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Cassano, T.

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Sensore per radiazione ultravioletta a base di film di diamante policristallino

Il diamante è considerato un materiale molto promettente per lo sviluppo di dispositivi per la rivelazione di radiazione UV grazie alle sue peculiari proprietà chimiche e fisiche (in particolare ottiche ed elettriche). In questo lavoro sono presentati i risultati ottenuti su dispositivi basati su film di diamante policristallino ROD (Random Oriented Diamond), prodotti con la tecnica MWPECVD (MicroWawe Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition) su substrati di silicio intrinseco e drogato-p (100). Sui dispositivi realizzati è stato eseguito uno studio comparativo in funzione del tipo di substrato e del diverso passo tra gli elettrodi di Cr/Au complanari ed interdigitati. Sono state quindi determinate le proprietà chimicostrutturali, morfologiche, elettriche ed ottiche dei film. In particolare, la risposta ottica è stata misurata in aria, utilizzando una lampada impulsata allo Xe accoppiata con una fibra ottica di quarzo, filtri interferenziali per selezionare la lunghezza d‟onda ed un‟elettronica di misura di read-out basata su un am-plificatore sensibile alla carica a basso rumore. I risultati sperimentali evidenziano una dipendenza delle prestazioni del dispositivo dal tipo di substrato utiliz-zato e dalla geometria dei contatti interdigitati

Authors

  • Altamura, D. ;
  • Brescia, R. ;
  • Capitelli, M. ;
  • Casamassima, G. ;
  • Cassano, T. ;
  • Celiberto, R. ;
  • Cicala, G. ;
  • Cornacchia, D. ;
  • De Giacomo, A. ;
  • De Pascale, O. ;
  • Favuzzi, C. ;
  • Ferraro, G. ;
  • Fusco, P. ;
  • Gargano, F. ;
  • Giglietto, N. ;
  • Giordano, F. ;
  • Gorse, C. ;
  • Longo, S. ;
  • Loparco, F. ;
  • Magaletti, V. ;
  • Marangelli, B. ;
  • Mazziotta, M.N. ;
  • Monéger, D. ;
  • Muscarella, M.F. ;
  • Nitti, M.A. ;
  • Rainò, A. ;
  • Romeo, A. ;
  • Senesi, G. ;
  • Spinelli, P. ;
  • Valentini, A. ;
  • Velardi, L.
0 Citations0 Mentions46% FAIR0.2 Dataset Index
10.1285/i9788883050886p1002015